Oplossingen voor cleanrooms in de halfgeleider- en elektronica-industrie

• Extreme eisen aan schoonheid: gedomineerd door ISO-klassen 5-7 (klasse 100-10.000), met geavanceerde verpakkingsgebieden waarvoor ISO 4 (klasse 10) is vereist om deeltjes ≥ 0,1 μm te beheersen.
• Multidimensionale besturing: Temperatuur (20-24°C±0,1°C), luchtvochtigheid (40-50%±2%), trillingen (≤50μm/s) en statische elektriciteit (≤100V) worden gelijktijdig beheerd.
• Internationale normen: moet voldoen aan SEMI S2, ISO 14644 en GMP voor elektronica, met strikte vereisten inzake procesisolatie tussen de verschillende productiefasen.

• Filtratiehiërarchie: voorfilter (G4) + medium-efficiëntiefilter (F9) + sub-hoge-efficiëntiefilter (H13) + terminal ULPA-filter (99,999% efficiëntie voor deeltjes ≥ 0,12 μm).
• Ontwerp van de luchtstroom: Volledige dekking eenrichtingsstroom (0,45 m/s ± 20%) in kerngebieden, met luchtwisselingssnelheden tot 500 keer/uur.
• Drukregeling: Drukverschil in de helling (≥ 5 Pa tussen aangrenzende zones) om kruisbesmetting te voorkomen.

• Materiaalbeheer: Luchtluizen voor inkomende materialen, speciale ontpak- en reinigingsprocedures en ultrazuiver water (18,2 MΩ·cm) met een TOC ≤10ppb.
• Oppervlaktebehandeling: Laswerk van roestvrij staal (304/316L), naadloze PVC-vloeren en siliconenvrije afsluitmiddelen.
• Chemische controle: Lokale uitlaatsystemen voor etsen met een zuurgasverwijderingsefficiëntie van ≥ 99%.

• Intelligente bewaking: Real-time deeltjestellers, temperatuur/vochtigheidssensoren en IoT-gebaseerde gecentraliseerde besturingssystemen.
• Energie-optimalisatie: warmteterugwinningseenheden (energiebesparing ≥ 30%), ventilatoren met variabele frequentie en LED-verlichting van de cleanroom.
• Onderhoudsprotocollen: kwartaallijk HEPA/ULPA-filterintegriteitsonderzoek, maandelijkse verificatie van de luchtstroomsnelheid en jaarlijkse uitgebreide prestatievalidatie.

• Miniaturisatie: Ontwikkeling naar ISO 3 (klasse 1) cleanrooms om zich aan te passen aan 3nm en kleinere procesknooppunten.
• Groene innovatie: Aanneming van VOC-arme materialen en integratie van hernieuwbare energiebronnen.
• Digitale transformatie: AI-gedreven voorspellend onderhoud en digitale tweelingen voor virtuele inbedrijfstelling.

Halvegeleidersreinigruimtes vereisen een balans tussen extreme schoonheid, processtabiliteit en operationele efficiëntie.en intelligente beheersystemen, ondersteunen deze kritieke faciliteiten de productie van hoogwaardige elektronische componenten.