logo
Thuis >

Laatste zaak van het bedrijf over Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certificeringen

Wat is een halfgeleiderreinigkamer?

2025-05-28

Laatste zaak van het bedrijf over Wat is een halfgeleiderreinigkamer?

Eenhalfgeleiderreinigkameris een sterk gecontroleerde omgeving die is ontworpen om verontreiniging tijdens de productie van microchips, geïntegreerde schakelingen (IC's) en andere elektronische componenten tot een minimum te beperken.Omdat zelfs microscopische deeltjes gebreken kunnen veroorzaken of een verlies van opbrengst kunnen veroorzaken, zijn cleanrooms onmisbaar voor de vervaardiging van hoogprecise halfgeleiders.

Belangrijkste kenmerken van halfgeleiderreinigkamers
  • Ultralage deeltjesconcentratie(ISO-klasse 1­9)

  • Precieze temperatuur- en luchtvochtigheidscontrole(tot ± 0,1 °C)

  • Geavanceerde luchtfiltratiesystemen(HEPA- en ULPA-filters)

  • Bescherming tegen elektrostatische ontlading (ESD)

Deze faciliteiten voldoen aan internationale normen zoals:ISO 14644-1voor de indeling van schoonruimtes enSEMI S2 / SEMI S8voor de veiligheid en ergonomie van de apparatuur.

Standaarden voor de indeling van schoonruimtes
ISO 14644-1 Klassen voor schoonruimtes

De productie van halfgeleiders vereist doorgaansISO-klasse 1?? 5omgevingen, afhankelijk van de gevoeligheid van het proces:

ISO-klasse Maximale deeltjes (≥ 0,1 μm/m3) Typische toepassing
ISO 1 10 Geavanceerde EUV-lithografie
ISO 3 1,000 Vervaardiging van 3D-NAND-wafers
ISO 5 100,000 Legacy halfgeleiderprocessen
Industriespecifieke normen
  • SEMI-normen: De compatibiliteit en betrouwbaarheid van de apparatuur (bijv.SEMI F47voor spanningsverlagingsimmuniteit).

  • Federale norm 209E (Legacy): Voormalige Amerikaanse standaard voor schoonruimtes, nu vervangen door ISO 14644.

Critische kenmerken van het ontwerp van een schoonruimte
Luchtstroomregeling
  • Eenrichtingsluchtstroom (Laminar): Verticale of horizontale luchtstroompatronen die continu deeltjes wegveegen van kritieke proceszones.

  • Hoog efficiënte recirculatiesystemen: Typisch hergebruik meer dan 90% van de lucht door middel van meerfasige HEPA/ULPA-filtratie.

Materiaal- en personeelsprotocollen

Kledingvereisten

  • ISO-klasse 1?? 3: Volledige konijnpakken met gezichtsmaskers, bril en handschoenen

  • ISO-klasse 5·6: gedeeltelijke kleding, zoals capuchons en handschoenen

Materiële beperkingen

  • Gebruik vanniet-vergietende materialen met lage uitstoot van gassenzoals roestvrij staal, geanodiseerd aluminium en PTFE

  • Vermijding van deeltjesproducerende kunststoffen of stoffen

Vibratie- en EMI-vermindering
  • Stabiliteit van de vloer: geïsoleerde platenconstructie met trillingsgrenzen van1 ‰ 2 μm, perIEST-RP-CC012

  • Elektromagnetische interferentie (EMI) afscherming: Beschermt gevoelige lithografie- en metrologische gereedschappen tegen extern elektrisch lawaai

Waarom schoonruimtes van belang zijn bij de vervaardiging van halfgeleiders
Voorkoming van gebreken

Een enkele20 μm deeltjeskan een5 nm transistorstructuur. Schoonruimtes verminderen aanzienlijk:

  • Het rendementverlies (dat meer dan50%in ongecontroleerde omgevingen)

  • Risico's van kruisbesmetting, zoals onbedoelde diffusie van metaalionen

Kostenefficiëntie en naleving
  • Verminderde stilstand: Schoonere omgevingen leiden tot minder waferdefecten en minder herwerkingscycli

  • Naleving van de regelgeving: Ondersteunt standaarden zoals:IEEE 1680voor duurzame en verantwoorde elektronische productie

Conclusies

De halfgeleiderreinigingsruimtes zijn:precisietechnische omgevingenHet is de kern van de moderne chipproductie.ISO-, SEMI- en IEST-normen, maken cleanrooms fabricage op nanometerschaal mogelijk met minimale gebreken en maximale opbrengst.

Terwijl de halfgeleidergeometrie blijft krimpen, ontwikkelen cleanroomtechnologieën zich snel.AI-gebaseerde deeltjesbewaking,slimme milieucontroles, enmodulaire schoonkamersystemen.

Voor halfgeleiderfabrikanten is investeren in gecertificeerde cleanroomtechniek niet optioneel: het is essentieel om innovatie, kwaliteit en wereldwijd concurrentievermogen te behouden.