Laatste zaak van het bedrijf over Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certificeringen

In high-end industrieën zoals halfgeleiderproductie, biomedicine en precisie-elektronica bepaalt de milieustabiliteit van een cleanroom rechtstreeks de opbrengst van het product, de consistentie van het proces,en betrouwbaarheid van onderzoek.

Om aan de steeds strengere controles te kunnen voldoen, heeft deMAU + FFU + DCC (Make-up Air Unit + Fan Filter Unit + Dry Coil Unit)Het systeem is de belangrijkste oplossing voor moderne cleanrooms geworden.temperatuur, vochtigheid, schoonheid en druk, waarbij de energie-efficiëntie en de operationele flexibiliteit aanzienlijk worden verbeterd.In dit artikel worden systematisch de belangrijkste besturingstechnologieën van het MAU + FFU + DCC-systeem uitgelegd en wordt geïllustreerd hoe een multidimensionale coördinatie een stabiel, high-performance cleanroom omgeving.

Het MAU + FFU + DCC-systeem neemt eenhiërarchische strategie voor luchtbehandeling, waarbij elk subsysteem een specifieke functie vervult:

• Primaire temperatuur- en luchtvochtigheidsregeling
• G4 + F8 meerstapsfiltratie
• Stabiel aanbod van airconditioning buiten

• HEPA- of ULPA-filtratie
• Eenrichtingsvervoer van luchtstroom
• Ondersteunt ISO-klasse 5 tot ISO-klasse 1 omgevingen

• Plaatselijke temperatuurstiling
• Snel compenseren van warmtebelastingen van apparatuur
• Zorgt voor een uniforme verdeling van de kamertemperatuur

Samen, ditVoorverwerking → Zuivering → Fijne controle"Deze architectuur biedt meer precisie, flexibiliteit en energie-efficiëntie dan traditionele gecentraliseerde HVAC-systemen.

In de productie van precisiemateriaal is de temperatuurschommeling een cruciaal risico.0.1°Ckan invloed hebben op het patroon.

Het MAU + FFU + DCC-systeem zorgt voor een temperatuurregeling op meerdere niveaus:

MAU ️ Primaire verordening

• Adaptieve PID-besturing van verwarmings- en koelspoelen
• Temperatuurstabiliteit van de frisse lucht binnen± 0,5°C
• Dynamische reactie op belastingveranderingen

FFU Optimalisatie van de luchtstroom

• Eenvormige matrixopstelling
• Typische snelheid van het gezicht:0.3·0,5 m/s
• Vermindert thermische stratificatie en lokale hotspots

DCC Real-time warmtecompensatie

• Doelwitten: warmte van lithografietools, bioreactoren, etseringsapparatuur
• Regelt de koelwaterstroom onmiddellijk
• Behoudt de uniformiteit van de kamertemperatuur± 0,2°C

Referentie van de zaak
Een 12-inch halfgeleider fab bereikt± 0,1°CHet is mogelijk dat de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting.3%.

Vochtigheid beïnvloedt rechtstreeks elektrostatische ontlading, corrosie, microbiële groei en processtabiliteit.

MAU ️ Hoofdvochtigheidsregeling

• met een vermogen van niet meer dan 50 W
• Condensatie of roterende ontvochtiging
• Beheersnauwkeurigheid tot± 2% RH

Voorbeeld:Voor de bevriezing drogen werkplaatsen vereisen meestal30~40% RHom vochtopname te voorkomen.

FFU uniforme verdeling

• Het elimineert stagnerende zones en dode hoeken.
• Vermijdt lokale ophoping van hoge luchtvochtigheid

MAU + DCC-coördinatie

• MAU regelt de absolute luchtvochtigheid
• DCC regelt de spoeltemperatuur
• Houd de temperatuur van het spoeloppervlak1°2°C boven dauwpuntom condensatie te voorkomen

Schoonheid blijft de belangrijkste prestatie-indicator van elke cleanroom.

MAU-voorfiltratie

• G4 primair filter
• F8 filter met middelmatig rendement
• Verwijdert grote deeltjes en beschermt de levensduur van FFU

FFU-terminalfiltratie

• HEPA: ≥ 99,97% @ 0,3 μm
• ULPA: ≥ 99,999% @ 0,12 μm
• Ondersteunt ISO klasse 5 en hoger

Organisatie van de luchtstroom

• Verticale eenrichtingsstroom
• FFU-dekking:60 ∼ 100%
• Creëert een stabiel zuiger effect, duwen verontreinigende stoffen naar terugkeer lucht roosters

Prestatiereferentie
Bij0.45 m/sde luchtstroom snelheid, de deeltjesconcentratie ≥ 0,5 μm kan worden verminderd tot
< 35 deeltjes/ft3 (ISO-klasse 5).

Positieve druk zorgt ervoor dat schone gebieden beschermd blijven tegen externe verontreiniging.

Fresh Air Volume Control (MAU)

• Differentiële druksensoren controleren de druk in de ruimte
• Typisch drukverschil:10 ̊30 Pa

Hiërarchische bestemming

• Tussen ISO-klasse 5 en ISO-klasse 7
• Drukgradiënt:5 ‰ 10 Pa

Noodbescherming

• Automatische alarmen bij drukdaling
• Backup fans activeren onmiddellijk
• Vermijdt besmetting bij abnormale omstandigheden

Moderne MAU + FFU + DCC-systemen integreren intelligente automatisering voor precisie en efficiëntie.

• Realtime monitoring van meer dan 30 parameters
• Trendanalyse en opslag van historische gegevens
• Gecentraliseerde systeemvisualisatie

Wanneer een gereedschap met een hoge belasting in werking treedt, wordt automatisch:

• Verhoogt de capaciteit van de koelspiraal
• Verhoogt DCC-uitgang
• Het herstel van de milieustabiliteit binnenTien seconden.

Continu toezicht op:

• FFU-motorstroom
• Filterdrukdaling
• DCC-spoelprestaties

Mogelijk maakt vroegtijdige opsporing van:

• Motorische veroudering
• Filterverstopping
• Abnormale luchtstroomweerstand

AI-gedreven optimalisatie regelt:

• Operatiehoeveelheid FFU
• Verhouding van verse lucht
• Temperatuur- en vochtigheidsbelastingmatching

Het resultaat:Energiebesparing 20-30%, vooral in grote halfgeleiderfabrieken.

• M.A.U.:test van de omvormer, filterweerstand, T/H-respons
• FFU:luchtstroomuniformiteit (± 10%), HEPA-lekketest, geluid ≤ 65 dB
• DCC:waterstroomnauwkeurigheid (± 5%), verifiëring van de warmtewisseling

• Simulatie van extreme omstandigheden
• Partikeltellers met een hoge precisie (0,1 μm)
• 50+ monitoringpunten met 10 seconden logging

• Variabele FFU-besturing tijdens deelbelasting
• Typische filtervervangingscycli:
  • Primary: 1 ̊3 maanden
  • Gemiddeld: 6­12 maanden
  • HEPA: 2 ̊3 jaar

De...MAU + FFU + DCCHet cleanroom-systeem vertegenwoordigt een overgang van basisconformiteit naar intelligente, slanke milieubeheersing.

Door gecoördineerd beheer van temperatuur, vochtigheid, schoonheid,Deze architectuur biedt de stabiliteit en precisie die vereist zijn voor de productie van halfgeleiders., biotechnologie en andere high-end toepassingen.

Als een professionele cleanroom engineering oplossing leverancier, bieden wij:

• Ontwerp van het systeem
• Selectie van de apparatuur
• Intelligente controle-integratie
• Inbedrijfstelling en optimalisatie
• Volledige levenscyclusondersteuning

Als u van plan bent of een high-precision cleanroom te upgraden, is ons ingenieursteam klaar om u te helpenmilieucontroleprestaties van wereldklasse.