Laatste zaak van het bedrijf over Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certificeringen

In het tijdperk van snelle technologische ontwikkeling stellen quantumchips, als kerncomponenten in het geavanceerde technologieveld, extreem strenge eisen aan de productieomgeving. Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., een professionele fabrikant van zuiveringsapparatuur met jarenlange ervaring in de industrie, onthult vandaag het bouwproces van cleanrooms voor de productie van quantumchips.

1. Pre-projectplanning en behoefteanalyse

De eerste stap bij het bouwen van een cleanroom voor quantumchips is van groot belang. Het is noodzakelijk om een diepgaand inzicht te hebben in elke schakel in het chipfabricageproces. Van chip-lithografie, etsen, depositie tot verpakking en andere processen, verschillende stappen hebben verschillende eisen voor omgevingsparameters zoals temperatuur, vochtigheid, aantal stofdeeltjes en elektrostatische controle. Communiceer nauw met chipfabrikanten. Op basis van hun productieschaal en technische routes, bepaal nauwkeurig de oppervlakte en lay-out van de werkplaats, en plan de stroomrichtingen van personeel, materialen en producten om ervoor te zorgen dat de drie stromen elkaar niet beïnvloeden en kruisbesmetting te voorkomen, wat een solide basis legt voor efficiënte productie in de toekomst.

2. Bepaling van het zuiveringsniveau

De productie van quantumchips vereist meestal een extreem hoog zuiveringsniveau, meestal ISO Klasse 3 of zelfs hoger. Dit betekent dat het aantal stofdeeltjes groter dan 0,1 micrometer per kubieke meter lucht strikt moet worden gecontroleerd tot enkelvoudige getallen. Bepaal, afhankelijk van de precisie van het chipfabricageproces, de zuiveringsniveaus van verschillende gebieden zoals het lithografiegebied en het ultra-schone testgebied, om zo gericht zuiveringsapparatuur te configureren, ervoor te zorgen dat de chip niet wordt gestoord door stofverontreinigingen op microniveau en de chipopbrengst te garanderen.

3. Architectonisch structuurontwerp

De architectonische structuur van de werkplaats moet worden aangepast aan de zuiveringseisen. De muren, vloeren en plafonds moeten worden gemaakt van luchtdichte, gladde, gemakkelijk te reinigen en antistatische materialen. Gecoate stalen platen kunnen worden geselecteerd voor de muren, met naadloze verbindingen; epoxy zelfnivellerend kan worden gebruikt voor de vloer, die slijtvast, corrosiebestendig en antistatisch is; het plafond is ontworpen om toegankelijk te zijn voor mensen, wat handig is voor later onderhoud van de apparatuur. High-efficiency particulate air (HEPA) filters en ultra-low-penetration air (ULPA) filters worden geïnstalleerd om een uniforme luchttoevoer en stabiele en langdurige zuiveringseffecten te garanderen.

4. Selectie en installatie van luchtzuiveringssysteem

Dit is de kernschakel, bestaande uit airconditioning-units, toevoer- en retourluchtkanalen, filters, enz. De airconditioning-unit moet meerdere functies hebben, zoals koelen, verwarmen, bevochtigen, ontvochtigen en luchtfiltratie, en nauwkeurig de temperatuur en vochtigheid regelen met een zeer kleine foutmarge. De toevoer- en retourluchtkanalen worden redelijk gepland volgens de lay-out van de werkplaats, en hoogwaardige gegalvaniseerde stalen platen worden gebruikt om luchtdichtheid te garanderen en te voorkomen dat luchtlekkage zuiveringsfalen veroorzaakt. Filters op alle niveaus werken stap voor stap. Het primaire filter verwijdert grote stofdeeltjes, het medium-efficiency filter zuivert de lucht verder, en de high-efficiency en ultra-high-efficiency filters zorgen voor een bijna steriele en stofvrije ultra-schone lucht voor het chipfabricagegebied.

5. Elektrostatische en micro-vibratiecontrole

Quantumchips zijn extreem gevoelig voor statische elektriciteit. Een kleine elektrostatische ontlading kan de chip beschadigen. Professionele elektrostatische eliminatieapparatuur zoals ionenventilatoren en elektrostatische aardingssystemen worden in de werkplaats geïnstalleerd om ervoor te zorgen dat het elektrostatische potentieel binnen de veilige drempelwaarde ligt. Tegelijkertijd, rekening houdend met de micro-vibraties die worden gegenereerd door de werking van de apparatuur en de beweging van het personeel, worden schokabsorberende ontwerpen toegepast vanaf de fundering van het gebouw, en worden ook schokabsorberende pads geïnstalleerd voor de installatie van de apparatuur om te voorkomen dat de micro-vibraties worden overgedragen en de nauwkeurigheid van precisieprocessen zoals chip-lithografie beïnvloeden.

6. Ondersteuning van water-, elektriciteits- en gassystemen

Een stabiele en betrouwbare toevoer van water, elektriciteit en gas is de garantie voor de werking van de werkplaats. Het zuivere watersysteem levert hoogzuivere waterbronnen voor de chipfabricage, voldoet aan de behoeften van processen zoals reiniging en etsen, en de waterkwaliteit bereikt de standaard van elektronische-kwaliteit ultrapuur water. Het stroomvoorzieningssysteem maakt gebruik van een dubbel circuit, uitgerust met een ononderbroken stroomvoorziening (UPS) om plotselinge stroomuitval op te vangen en de continue werking van essentiële apparatuur te garanderen. Het gassysteem verdeelt nauwkeurig speciale gassen zoals stikstof en argon. De pijpleidingen zijn strikt afgedicht en gezuiverd om te voorkomen dat gasverontreiniging de chipkwaliteit beïnvloedt.

7. Installatie en inbedrijfstelling van apparatuur

Zuiveringsapparatuur en productieapparatuur worden in volgorde geïnstalleerd. Ze moeten strikt worden geïnstalleerd in overeenstemming met de installatiespecificaties om ervoor te zorgen dat de apparatuur waterpas, stabiel en stevig verbonden is. Na installatie wordt gezamenlijke inbedrijfstelling uitgevoerd. Simuleer de productieomstandigheden, test uitgebreid het zuiveringseffect, de temperatuur- en vochtigheidsregeling en de apparatuurvergrendeling, en pas de parameters herhaaldelijk aan totdat alle indicatoren aan de ontwerpvereisten voldoen, waardoor een perfecte productieomgeving wordt gecreëerd voor de formele productie van quantumchips.

Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., met zijn professionele team en geavanceerde technologie, controleert elk detail van het bouwproces van cleanrooms voor quantumchips, waardoor quantumtechnologiebedrijven een hoger niveau bereiken en aan een nieuwe reis van massaproductie van quantumchips beginnen. Als u eisen heeft voor de bouw van cleanrooms, neem dan gerust contact met ons op. Laten we samenwerken om een technologische toekomst te creëren!