In het tijdperk van snelle technologische ontwikkeling hebben quantumchips, als kerncomponenten op het gebied van geavanceerde technologie, uiterst strenge eisen aan de productieomgeving.Guangzhou Cleanroom Construction Co.., Ltd., een professionele fabrikant van zuiveringsapparatuur met jarenlange ervaring in de industrie, zal vandaag het bouwproces van cleanrooms voor de productie van quantumchips onthullen.

1. Voorprojectplanning en vereistenanalyse

De eerste stap in het bouwen van een clean room voor quantum chips is van groot belang.Uit chiplithografie, etsen, afzetting op verpakkingen en andere processen, hebben verschillende stappen verschillende eisen aan omgevingsparameters zoals temperatuur, vochtigheid, aantal stofdeeltjes,en elektrostatische besturing- Communicatie met de producenten van chips, op basis van hun productie en technische routes, het gebied en de lay-out van de werkplaats,en de stroomrichtingen van het personeel plannen, materialen en producten om ervoor te zorgen dat de drie stromen elkaar niet hinderen en kruisbesmetting voorkomen, waardoor een solide basis wordt gelegd voor een efficiënte productie in de toekomst.

2Bepaling van het zuiveringsniveau

De productie van quantumchips vereist meestal een extreem hoog zuiveringsniveau, meestal ISO-klasse 3 of zelfs hoger.1 micrometer per kubieke meter lucht moet strikt worden gecontroleerd op een eencijferig getal. Bepaal de zuiveringsniveaus van verschillende gebieden zoals het lithografiegebied en het ultra-schone testgebied, volgens de nauwkeurigheid van het chipproductieproces,om de zuiveringsapparatuur te configureren die is bestemd voor, zodat de chip niet wordt verstoord door stofverontreinigingen op micro-niveau en de chipopbrengst wordt gegarandeerd.

3Ontwerp van architectonische structuren

De architectonische structuur van de werkplaats moet worden aangepast aan de vereisten van de zuivering.en antistatische materialenVoor de muren kunnen kleurcoated staalplaten worden gekozen, met naadloze verbindingen; voor de vloer kan epoxy zelfnivellering worden gebruikt, die slijtvast, corrosiebestendig en antistatisch is.;het plafond is ontworpen om voor mensen toegankelijk te zijn, wat handig is voor latere onderhoud van de apparatuur.Er worden hoog-efficiënte luchtfilters voor deeltjes (HEPA) en ultra-laag-penetratiefilters (ULPA) geïnstalleerd om een uniforme luchttoevoer en stabiele en langdurige zuivereffecten te garanderen..

4. Selectie en installatie van luchtzuiveringssysteem

Dit is de kernverbinding, bestaande uit airconditioning eenheden, toevoer en terugkeer luchtleidingen, filters, etc. De airconditioning unit moet meerdere functies hebben zoals koeling, verwarming,bevochtiging, ontvochtiging en luchtfiltratie, waarbij de temperatuur en vochtigheid nauwkeurig worden geregeld met een zeer klein foutbereik.De toevoer- en terugvoerluchtkanalen zijn redelijkerwijs gepland volgens de lay-out van de werkplaats, en hoogwaardige gegalvaniseerde staalplaten worden gebruikt om luchtdichtheid te garanderen en te voorkomen dat luchtlekkage een zuiveringsfout veroorzaakt.Het primaire filter verwijdert grote stofdeeltjes, het medium-efficiëntiefilter zuivert de lucht verder,En de hoog- en ultra-hoge-efficiëntie filters zorgen voor een bijna steriele en stofvrije ultra-schone lucht voor het chip productiegebied..

5Elektrostatische en micro-vibratiecontrole

Quantumchips zijn erg gevoelig voor statische elektriciteit. Professional electrostatic elimination equipment such as ion fans and electrostatic grounding systems are equipped in the workshop to ensure that the electrostatic potential is within the safe thresholdTegelijkertijd worden, rekening houdend met de microvibraties die worden veroorzaakt door de werking van de apparatuur en de beweging van het personeel, vanaf de bouwfundatie schokdempende ontwerpen aangenomen. and shock - absorbing pads are also equipped for equipment installation to prevent the micro - vibrations from being transmitted and affecting the accuracy of precision processes such as chip lithography.

6Ondersteuning van water-, elektriciteits- en gassystemen

Een stabiele en betrouwbare watervoorziening, elektriciteit en gas is de garantie voor de werking van de werkplaats.de behoeften van processen zoals schoonmaken en etsen te voldoenHet energie-systeem heeft een twee-circuits stroomtoevoer.een vermogen van niet meer dan 50 W,Het gassysteem verdeelt met nauwkeurigheid speciale gassen zoals stikstof en argon. De leidingen zijn strikt afgesloten en gezuiverd om te voorkomen dat gasverontreiniging de chipkwaliteit beïnvloedt.

7Installatie en inbedrijfstelling van apparatuur

De zuiveringsapparatuur en de productieapparatuur worden in volgorde geïnstalleerd.,Na de installatie wordt gezamenlijke inbedrijfstelling uitgevoerd. De productieomstandigheden worden gesimuleerd, het zuivereffect, de temperatuur- en vochtigheidsregeling worden uitgebreid getest,en vergrendeling van apparatuur, en de parameters herhaaldelijk aanpassen totdat alle indicatoren voldoen aan de ontwerpvereisten, waardoor een perfecte productieomgeving wordt gecreëerd voor de formele productie van quantumchips.

Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., met zijn professionele team en geavanceerde technologie, controleert elk detail van het bouwproces van cleanrooms voor quantum chips,het helpen van quantumtechnologiebedrijven om een hoger niveau te bereiken en een nieuwe reis van massaproductie van quantumchips te ondernemenAls u behoefte heeft aan de bouw van een cleanroom, kunt u ons gerust contacteren.