In het halfgeleiderveld, een technologische revolutie gedreven door nieuwe materialen is op komst.heeft nieuwe wegen geopend voor onderzoek en ontwikkeling van hoogwaardige halfgeleiderapparaten met uitstekende eigenschappenOm het echter te transformeren van laboratoriumprestaties in grootschalige industriële productie, is een stofvrije schoonkamer die past bij zijn kenmerken essentieel.., Ltd. , die al jaren actief is in de zuiveringsindustrie,zal u omvattend te begrijpen de belangrijkste punten in de bouw van stofvrije cleanrooms voor diepblauwe gallium-oxide halfgeleiders vandaag.
I. Strenge controle van de zuiveringsgraden
Het productieproces van diepblauwe halfgeleiders van galliumoxide is extreem gevoelig voor verontreinigingen zoals stof en micro-organismen.en etsen, zelfs kleine deeltjes "gemengd in" kan leiden tot kortsluitingen in chips, degradatie van de prestaties, en een significante vermindering van de opbrengst.het zuiveringsniveau van de werkplaats moet meestal voldoen aan de normen van klasse 10 of zelfs hogerDit betekent dat het aantal stofdeeltjes met een deeltjesgrootte van meer dan 0,5 micrometer in elke kubieke meter lucht strikt binnen 10 wordt gecontroleerd.Guangzhou Kunling gebruikt internationale luchtfiltratietechnologieën- van primaire filtratie om grote stofdeeltjes op te vangen, tot middelmatig efficiënte filtratie om middelgrote onzuiverheden op te vangen,en vervolgens door middel van hoogwaardige deeltjesluchtfilters (HEPA) en ultra-lage-penetratieluchtfilters (ULPA) voor laag-voor-laag "screening", zorgt het ervoor dat de lucht die de werkplaats binnenkomt vrijwel vrij is van verontreinigingen, waardoor een zuivere basis wordt gelegd voor een precisieproductie.
II. Precieze beheersing van temperatuur en luchtvochtigheid
De elektrische eigenschappen en de stabiliteit van de kristallenstructuur van halfgeleidermaterialen van gallioxide variëren aanzienlijk onder verschillende temperaturen en vochtigheidsomgevingen.Het geschikte temperatuurbereik is gewoonlijk tussen 22 °C en 25 °CDe werkplaats is uitgerust met een intelligent temperatuur- en luchtvochtigheidsregelsysteem.Door middel van hoogprecise sensoren die milieugegevens in realtime controlerenAls de temperatuur stijgt op warme zomerdagen, is het mogelijk om de temperatuur te verhogen.de koelmodule werkt efficiënt om af te koelen; wanneer het in de winter droog is, sproeit de bevochtigingsapparatuur precies om de luchtvochtigheid te verhogen,het creëren van een "microklimaat" met een constante temperatuur en luchtvochtigheid om de gallioxide-materialen en -apparatuur in optimale werkomstandigheden te houden en het risico op procesafwijkingen te verminderen;.
III. Zorgvuldige antistatische maatregelen
In de halfgeleiderverwerking is statische elektriciteit een verborgen moordenaar.en het ontladingsverschijnsel veroorzaakt door statische elektriciteit kan gemakkelijk afbreken transistors en schade chipsDe vloermaterialen zijn gemaakt van antistatisch PVC of epoxy zelfnivellerende vloeren.met de oppervlakteweerstand strikt gecontroleerd binnen het bereik van 10^6 - 10^9 ohm om statische elektriciteit snel te dissiperenDe apparatuur en de werkbanken zijn uitgerust met statische eliminatoren en de ionenventilatoren blazen voortdurend positieve en negatieve ionen uit om ladingen te neutraliseren.Operatoren dragen antistatische werkkleding en schoenenbedekkingen, volledig "gewapend" zijn om de verborgen gevaren van de ophoping en ontlading van statische elektriciteit van de bron te elimineren en de integriteit van de producten te beschermen.
IV. Wetenschappelijke planning van de ventilatie en de organisatie van de luchtstroom
Een goede ventilatie in de werkplaats kan niet alleen zorgen voor frisse lucht, maar kan ook de uitlaatgassen van het proces helpen afvoeren en de warmte afvoeren voor koeling.een combinatie van eenrichtingsstroom- en turbulente stroomluchtverspreidingsvormen wordt aangenomenIn de lithografie wordt stof nauwkeurig door een verticale eenrichtingsstroom met een stabiele doorstroming (0,3 - 0,5 meter per seconde) verwijderd; in gebieden zoals opslag en montage van materialen wordt stof nauwkeurig door een verticale eenrichtingsstroom met een stabiele doorstroming (0,3 - 0,5 meter per seconde) verwijderd.de ventilatie met turbulente stroom is ingesteld om de lucht efficiënt te vervangenDe materialen voor ventilatiekanalen worden geselecteerd met inachtneming van brandpreventie, roestpreventie en lage luchtlekkage. Fans are accurately selected according to the scale of the workshop and the frequency of air changes to ensure that the air volume and air pressure are suitable and maintain the orderly flow of air and dilute the concentration of harmful substances.
V. Geschikte indeling van procesapparatuur
Het bereidingsproces van diepblauw galliumoxide is complex en lithografie-machines, etseringsmachines, chemische dampdepositietoestellen, enz. variëren in grootte, gewicht,en speciale eisen hebben voor trillingen tijdens het gebruik en warmteafvoerDe opzet van de werkplaats is gebaseerd op het beginsel van "smooth process flow and non-interference between equipment".en zwaar materieel wordt geplaatst in gebieden met een goede draagkracht en een uitstekende schokdemperDe warmteafvoerkanalen worden gereserveerd en de koelapparatuur wordt geïnstalleerd overeenkomstig de warmteafvoercurven van de apparatuur.De intervallen tussen aangrenzende apparatuur zijn redelijk om het onderhoud te vergemakkelijken, werking en debugging, waardoor een efficiënte koppeling van apparatuur en een stabiele productie van hoogwaardige halfgeleiderproducten mogelijk is.
VI. Verbeterd personeelsbeheer en -opleiding
Mensen zijn een belangrijke factor in de werking van de werkplaats, maar ze zijn ook een potentiële bron van verontreiniging.Personeel dat de stofvrije schoonruimte voor diepblauw galliumoxide binnengaat, moet een strikt bekledingsproces ondergaan, van stofverwijdering in een luchtdouche tot het dragen van steriele beschermende kleding, maskers en handschoenen, laag voor laag schoonmaken.Er wordt regelmatig beroepsopleiding gegeven om de kennis van de werknemers over halfgeleiderprocessen te versterken., operationele normen in schoonruimtes, en het vermogen om te reageren op noodsituaties.Nieuwe medewerkers krijgen praktische begeleiding van ervaren collega's om de details van materiaalbehandeling en het gebruik van apparatuur te beheersen, waardoor de kans op verontreiniging van het product en schade door menselijke fouten wordt verminderd.
Het bouwen van stofvrije schoonruimtes voor diepblauwe gallium-oxide halfgeleiders is zowel een uitdaging als een kans. , Ltd. vertrouwt op zijn rijke projectervaring, professioneel technisch team en hoogwaardige zuiveringsproducten om eenstopoplossingen in het gehele proces aan te passen.bouw tot latere exploitatie en onderhoud, zullen wij nauwkeurige inspanningen leveren om de ondernemingen te helpen de positie in de diepblauwe gallium-oxide-industrie te veroveren.Als u een dergelijk werkplaatsproject van plan bent of vragen heeft over bouwdetailsNeem onmiddellijk contact met ons op en laten we samenwerken om een nieuw model van schone halfgeleiderproductie te creëren.