In het geavanceerde gebied van de productie van halfgeleiders kan elke kleine verandering in de productieomgeving een doorslaggevende invloed hebben op de kwaliteit van het product.Als professionele fabrikant met jarenlange ervaring in de zuiveringsindustrie, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. begrijpt diep de kern positie van de luchtstroom drukverschil controle in halfgeleider cleanrooms.we zullen de luchtstroom drukverschil controle oplossingen voor halfgeleider cleanrooms uitgebreid te analyseren, waardoor u een stabiele en efficiënte productieomgeving kunt creëren.
Beheersing van het drukverschil in de luchtstroom: de belangrijkste verdedigingslijn in de halfgeleiderproductie
Weerstand bieden tegen de invalling van verontreinigende stoffen
Het productieproces van halfgeleiderchips is extreem gevoelig.Ze kunnen ernstige problemen veroorzaken zoals kortsluitingen en open circuits in chips.Neem bijvoorbeeld het lithografieproces van geavanceerde processchips. De lijnbreedte op de chips heeft het nanometerniveau bereikt. Een stofdeeltje met een diameter van slechts 0.1 micrometer is voldoende om afwijkingen in het litografiepatroon te veroorzakenDoor het drukverschil in de luchtstroom redelijk te construeren en de cleanroom in een positieve druktoestand te houden, kunnen externe verontreinigende stoffen effectief worden geblokkeerd.het bouwen van een onzichtbare beschermende barrière voor de productie van chips.
Zorg voor een stabiele werking van het proces
De productie van halfgeleiders omvat een verscheidenheid aan complexe processen zoals lithografie, etsen en doping.en schoonheidEen stabiel luchtstroomdrukverschil kan ervoor zorgen dat de milieuparameters van elk gebied altijd binnen het door het proces vereiste bereik blijven.een solide garantie bieden voor een soepele voortgang van het procesIn het etsenproces, wanneer de luchtstroom onstabiel is, zal de verspreiding van het etsengas ongelijkmatig zijn.die tot inconsistente etseringspercentages leidt en de etseringsnauwkeurigheid en de productkwaliteit van de chips ernstig beïnvloedt.
Precieze oplossingen voor het beheersen van het drukverschil van de luchtstroom om een zuivere productieruimte te creëren
Wetenschappelijke ruimteverdeling en nauwkeurige drukverschilstelling
- Kernproductiegebied: In dit gebied worden belangrijke processen zoals lithografie, etsen en doping uitgevoerd.Het wordt aanbevolen dat de druk in het kernproductiegebied 15 - 25 Pa hoger is dan in de aangrenzende hulpgebieden., waardoor het risico op invloeden van externe verontreinigende stoffen tot een minimum wordt beperkt en ervoor wordt gezorgd dat het productieproces van de chip niet wordt verstoord door verontreiniging.
- Hulpproductiegebied: Hulpruimtes zoals de ruimte voor tijdelijke opslag van materialen en de ruimte voor het onderhoud van de apparatuur, hoewel de reinigingsvereisten enigszins lager zijn dan die van het kernproductiegebied,nog steeds een bepaalde positieve druk moeten handhavenOver het algemeen,het is 5 - 10 Pa hoger dan gebieden zoals gewone corridors om te voorkomen dat verontreinigende stoffen in de corridors het hulpgebied binnendringen en het milieu van het kernproductiegebied in gevaar brengen.
- Personeels- en materiële doorgangen: Voor de doorgangen waar personeel en materialen de werkplaats in en uit gaan, moet een redelijke drukverschil zorgvuldig worden ingesteld om een effectief luchtsluitingseffect te vormen.Wanneer u het schone gebied binnengaat vanuit het niet-schone gebied, stijgt de druk geleidelijk met elke deur die wordt doorgegeven, en fungeert als een laag checkpoints, waardoor verontreinigende stoffen effectief worden geblokkeerd om de cleanroom binnen te komen, samen met personeel en materialen.
Het selecteren van geavanceerde apparatuur voor nauwkeurige besturing
- Hoogprecisie-druksensoren: De door Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. onafhankelijk ontwikkelde hoge-precisie druksensoren hebben uitstekende prestaties.Deze kan de drukveranderingen in elk gebied van de werkplaats in real time nauwkeurig vastleggen., zodat abnormale drukschommelingen onmiddellijk worden vastgesteld en een sterke basis worden gelegd voor tijdige tegenmaatregelen.
- Intelligent ventilatiesysteem: Dit systeem is nauw verbonden met hoge-precisie druk sensoren.het bereiken van een intelligente en verfijnde controle van de luchtstroomWanneer het systeem detecteert dat de druk in een bepaald gebied lager is dan de ingestelde waarde, reageert het snel.automatisch verhogen van het volume van de luchttoevoer of verminderen van het volume van de uitlaatgassen om de druk snel terug te brengen tot het normale niveau.
Omvattend onderhoud en beheer om de stabiliteit van het drukverschil continu te beschermen
Regelmatige kalibratie en onderhoud om de prestaties van de apparatuur te waarborgen
De druksensoren moeten elke zes maanden streng worden gekalibreerd om de nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van de meetgegevens te waarborgen.regelmatig een uitgebreide inspectie van de ventilatieapparatuur uitvoeren, zorgvuldig controleren of de ventilatorrollers versleten zijn, of de kleppen normaal kunnen openen en sluiten, enz.,en de verouderde of beschadigde onderdelen tijdig vervangen om ervoor te zorgen dat de apparatuur altijd in de beste bedrijfsconditie is.
Professionele opleidingen om de capaciteiten van het personeel te verbeteren
Het personeel van de werkplaats systematisch op te leiden op het gebied van de beheersing van de drukverschillen in de luchtstroom;het in staat stellen om de betekenis van drukverschilregeling en de behandeling van abnormale situaties grondig te begrijpenWanneer er een drukverschil-alarm optreedt, kan het personeel snel de mogelijke oorzaken analyseren, zoals apparatuurfouten en lekkages in de leidingen.en tijdig effectieve tegenmaatregelen nemen om de continuïteit en stabiliteit van de productie in de werkplaats te waarborgen.
Grondige gegevensanalyse en continue optimalisatie van de oplossingen
Een professioneel systeem voor het monitoren van de drukverschillen in de luchtstroom bouwen en een diepgaande analyse uitvoeren van de op lange termijn verzamelde drukgegevens.potentiële problemen kunnen scherp worden ontdektAls de druk in sommige gebieden bijvoorbeeld vaak fluctueert, kan dit te wijten zijn aan storingen van de apparatuur of een onredelijke luchtverdeling,en vervolgens gerichte optimalisatie aanpassingen kunnen worden gemaakt om de luchtstroom drukverschil controle oplossingen voortdurend te verbeteren.
Met een diepgaande technische verzameling en rijke projectervaring, heeft Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroomAls u van plan bent een halfgeleider schoonkamer te bouwen of bij de werking van een bestaande werkplaats problemen ondervindt, neem dan gerust contact met ons op.Laten we samenwerken om een toonaangevende halfgeleider schone productie omgeving te creëren en bij te dragen aan de ontwikkeling van de halfgeleider industrie.